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Versum 在 SEMICON China 推出全新 GasSTAR 批量特种气体系统

亚利桑那州坦佩(2019 年 3 月 11 日) ‒ Versum Materials, Inc. (纽约股票交易所交易代码:VSM)(半导体行业的领先材料供应商)今天宣布将在全球最大的半导体展会 SEMICON China 上推出其全新的 GasSTAR™ 批量特种气体系统 (BSGS)。活动将于 2019 年 3 月 20-22 日,在中国上海新国际博览中心举行。

GasStar BSGS 系统目前仅在亚洲提供,提供最大的安全性和可靠性(正常运行时间 99%)、更低的拥有成本、与许多气体的兼容性和灵活的来源、流速可扩展性,最高 1000 slpm(或更高)以及其他众多优势。主要系统组件包括基准 TE11 PLC 控制器,用于集成监控和控制、ECC 加热器/控制器、单或双线馈电、电路保护以及 JT 加热器。

参观 N5 展厅 5343 号展台的访客将进一步了解公司的下一代 CMP 泥浆、配方清洁和蚀刻产品、超薄电介质和金属膜前体以及其他输送系统,包括 Chemguard® Gen III 100-400NT 自动化双储存柜 (DTLR),其设计可最大程度延长正常运行时间,并满足当今的 FABS 需求。超过 200 种化学品经过了全面的危害评估并被批准用于 CHEMGUARD 系统。

Versum Materials 还拥有由 NuMat Technologies 开发的 ION-X®,用于安全储存和输送砷烷、磷烷和三氟化硼等低于大气压的掺杂剂气体。公司将展示最新的先进容器产品,与其客户密切合作以处理各种分子。

Versum Materials 材料高级副总裁 Edward Shober 称:“随着我们走向 2020 年代,Versum 致力于成为可靠且可持续的合作伙伴,通过与中国晶圆厂和半导体制造领域的中国客户进行跨国合作,支持中国半导体市场的发展。”

Versum Materials 的交付系统和服务高级副总裁 Jeff White 说:“我们不断推出和提高其他气体交付设备供应商提供的标准和可选功能。我们在外高桥的全新先进的超高纯度气体输送设备生产设施旨在加快我们对大中华区市场的服务,因为它将使我们能够在产品消费的地区进行设计和建造。”

关于 Versum Materials
Versum Materials, Inc. (纽约股票交易所交易代码:VSM) 是下一代化学机械平坦化 (CMP) 研磨液、超薄介电和金属膜前体、配方清洁和蚀刻产品以及交付设备的全球领先供应商之一,为半导体行业带来了变革。Versum Materials 在亚洲和北美洲的年度销售额约为 14 亿美元,有 2,300 名员工和 14 个主要工厂。总部设在亚利桑那州的坦佩。在 2016 年 10 月 1 日独立之前,Versum Materials 作为 Air Products and Chemicals, Inc. 的一个部门已经运营了三十多年。(纽约股票交易所交易代码:APD)。

有关更多信息,请访问 https://www.versummaterials.com

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Versum Materials 徽标和 Versum 是 Versum Materials, Inc. 或其附属公司的注册商标。

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