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微机电系统

微机电系统(MEMS)

可靠的材料,可靠的输送系统。

Versum Materials 现正针对微机电系统 (MEMS) 市场的制造商供应性能稳定、价格低廉的 XeF2。我们拥有将近 40 年的氟领域专长,可随时成为您的 XeF2 供应商。我们提供用于掺杂、蚀刻和薄膜沉积的材料,还提供 GASGUARD® 气体输送和 CHEMGUARD® 化学品输送系统,全方位满足您的 MEMS 制造需求。

针对 MEMS 市场的 XeF2 解决方案
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