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Versum 实验室注释

建立 CVD 和 ALD 化学前驱体的热稳定性

深入了解化学气相沉积 (CVD) 和原子层沉积 (ALD) 化学前驱体的热稳定性对于其成功商业化至关重要。作为半导体行业高活性和高能材料的供应商,Versum Materials 拥有强大的能力,可以在商业化过程的各个阶段充分表征化学前驱体的热稳定性。最初的化学前驱体选择始于对其从液体或固体蒸发输送化学前驱体可行性的了解。

Versum Materials 还开发了用热重分析 (TGA) 计算有机硅和有机金属化学前驱体蒸气压力的方法。为了进一步了解化学前驱体的热稳定性,Versum 使用差示扫描量热仪 (DSC) 和热筛选装置 (TSU)。这些仪器用于表征加热过程中的相变和分解事件。为了确保将高能化学前驱体安全输送到工具,Versum Materials 进行了 TSU 分析,监测压力和样品温度,作为炉温的函数。TSU 分析提供了关于化学前驱体热分解或相变事件的重要信息。

为了表征客户工具中化学前驱体的稳定性,Versum Materials 进行了长期的热测试,其中化学前驱体在客户工具使用的温度下加热 1-16 个星期。对于其他应用,公司通过在升高的温度下加热化学前驱体 1-4 个星期开展加速老化实验,以估计在环境温度下的降解速率,以进行初步的保质期测定或长期储存*。在加热之前和之后通过各种分析方法分析化学前驱体,以测量模拟过程或环境储存条件下的热稳定性。在最终化学前驱体生产规模扩大的过程中,Versum Materials 进行了加速量热测试,这是一种用于检测化学前驱体热分解发生的技术。

这些方法是免费的分析组件,使 Versum Materials 可以表征化学前驱体的关键热稳定性参数,以确保最佳的性能和安全性。Versum Materials 科学家的知识和专业技能已经帮助许多客户安全、成功地将新材料投入生产。

*ASTM 方法 F1980-07,加速老化标准指南

作者

Steve Mayorga 是研究助理,在公司工作了 26 年。他毕业于加州大学伯克利分校,拥有无机化学博士学位。

Steve.Mayorga@nullversummaterials.com

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