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特色产品

GASGUARD eV:用于电子特种气体的智能全厂加热系统和控制

GASGUARD® eV 温度控制系统现在具有远程安装选项,可确保连续的气体流量,实现安全性和可靠性。

Versum Materials, Inc. 推出了我们经过重大升级的 GASGUARD eV 温度控制系统,并增加了远程安装控制器选件。该系统提供智能、先进的加热系统,并能对需要加热后才能交付到半导体制造工厂工具的特种气体进行控制。

新增强的系统降低了拥有成本、延长了正常运行时间,并通过顶部和远程安装选件以及更小的占地面积简化了故障排除。经过完全认证且符合标准的 eV 型号包括一个电化学压缩加热器/控制器和一个带两个 700 瓦加热毯和两个电伴热带的气柜,以容纳两个 A 或 B 尺寸的气瓶。它还包括一个 GASGUARD AP11 型控制器,该控制器提供集成的监测和控制,并提供具有可选双电源的单电源馈电。

我们的客户报告说,GASGUARD eV 温度控制技术提供了稳定和精确的温度和压力控制,增强了比例、积分、微分 (PID) 温度控制、过热保护和持续监控。同样重要的是,我们的系统确保了气体不间断流动,没有温度峰值和谷值

Versum Materials 销售的气体输送系统中有三分之一使用加热来输送低温气体,该公司致力于通过在任何需要的地方采用温度控制技术来提高系统的灵活性。

超过 60 年的经验为用于半导体、薄膜晶体管 (TFT) LCD 和光电行业的 GASGUARD 气体和化学品输送系统提供了支持。这些输送系统包括各种配置的自动、半自动和手动版本 - 从单源到多气瓶源和吹扫系统,并可适应各种有害气体:易燃、自燃、腐蚀性、毒性、剧毒气体均不例外,均可满足具体的制造需求。

基于 30 多年来制造和提供 30,000 多种先进材料和交付系统的传承,Versum Materials 公司将继续设计和建造更安全、更可靠的高纯度气体和液体分配的输送设备。

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