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交付系统和服务

可靠、安全的输送系统和服务

最大程度提高运行时间,让人放心、安心

针对晶圆厂的气体和化学品输送系统

您可以依靠我们的输送设备为您的晶圆厂设备安全、可靠地输送气体和化学品。Versum Materials 的设备解决方案由数十年来在气体和化学品安全输送方面的经验提供支持。在具有成本效益的大量气体和化学品供应方面,我们的 GASGUARD®CHEMGUARD® 输送系统是公认的国际标准。

  • GASGUARD® 气体输送系统
  • CHEMGUARD® 化学品输送系统
  • FLOWMASTER® 化学机械平坦化 (CMP) 研磨液输送系统
  • VAPORGUARD® 自动化温控系统

服务

我们的 MEGASYS® 气体和化学品管理服务提供由来自 Versum Materials 的熟练技工在现场对气体和化学品供应进行的日常管理。您享受的益处包括:

  • 提高流程可靠性
  • 提升晶片良品率
  • 杜绝材料耗尽事故

MEGASYS® 为您管理气体和化学品供应,让您专注于贵公司最擅长的工作。

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