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OMNI™ Quartzware 清洗系统

交付系统和服务

Versum Materials Omni Quartzware 清洗系统是一种独立系统,设计用于在所有垂直喷雾过程中自动清洁和冲洗 300mm(或更小)的竖炉石英器皿。Omni 具有双处理室,右处理室中采用专门设计的夹具用于管道和衬套,左处理室中旋转传送带上有多个固定装置用于所有其他石英配件。用户编程允许操作员选择管道和衬套的内部和外部喷雾蚀刻,以及用于配件的喷雾或注射清洁。

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