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富含同位素的 BF3(三氟化硼)ION-X® 掺杂剂气体储存和输送系统

先进材料,电子材料,工艺材料

Versum Materials 和 NuMat Technologies 宣布成立全球联盟,为我们的全球客户提供 ION-X 低于大气压的掺杂剂气体储存和输送系统解决方案。使用 ION-X 用于安全储存和输送砷烷、磷烷和三氟化硼等低于大气压的掺杂剂气体。ION-X® 凭借其金属有机框架 (MOF),可在低于大气压的情况下选择性吸附、储存和安全输送超高纯度气体。

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