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产品

具有溶解清理功能的 CHEMGUARD® GENIII 500 自动化学加药系统

交付系统和服务

我们的 CHEMGUARD Gen III 500 是一种双储罐 (DTLR) 系统,具有用于低挥发性化学品的自动溶解清理功能。双前驱体罐实现 100% 的正常运行时间,以满足当今晶圆制造厂的需求。多年的经验融入到我们所有的高纯度化学品运输设备中,确保以安全和经济高效的方式运输超高纯度 (UHP) 液体。

CHEMGUARD 的尺寸进一步缩小,仅为 457mm (18 英寸) x 533 mm (21 英寸),可以直接相邻地放置多个储柜。这最大限度地提高了您在晶圆厂内的可用地面空间使用率,同时降低了排气要求,以实现更低的拥有成本。每个储柜都是全自动的,包括一个带有彩色触摸屏的微处理器控制器。第三代控制器设计通过自动监控优化容器更换操作,确保从尾纤连接处去除所有残留化学品。标准化的模块化设计可实现定制、易于维护和未来扩展。每种 CHEMGUARD 型号都融入了测试和多年的经验,以确保向工具提供可靠的化学品运输,并且不会停机。

CHEMGUARD 系列高纯度化学品运输设备不仅仅是您晶圆厂中的独立设备。它被设计为直接连接到大多数 OEM 工艺工具,凭借设计用于超高纯度液体的晶圆厂内分配系统而变得更加完善。

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