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GASGUARD® BULKGUARD™ 散装气体系统Versum Materials 新型散装气体系统 - GASGUARD® BULKGUARD™ 散装气体系统提供最高安全性和可靠性(正常运行时间 100%)、更低的拥有成本、与许多气体和灵活的来源兼容、最高 1000 slpm 流速可扩展性,以及其它优势。它提供先进的热采集和传输到工具前需要加热的电气特种气体的控制功能。Versum…

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Dynastrip™ DL88 多功能光刻胶去除剂DynaStrip DL88 是一款独特配方的光刻胶去除产品,专为晶片级封装 (WLP) 应用而设计,其中包括倒装芯片凸点电极、再分配和晶片级 CSP。

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Flipstrip 多功能光刻胶去除剂FlipStrip 是一种独特配方的化学品,专门用于去除用于倒装芯片凸点电极应用的加工过的光刻胶。它在电镀焊料和原位粘贴工艺中都有效。

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Dynastrip™ AP7900A 多功能光刻胶去除剂Dynastrip AP7900A 多功能光刻胶去除剂是一款独特配方的光刻胶去除剂,专门设计用于剥离晶片级封装 (WLP) 应用(包括无铅焊料凸点电极、µ 凸点电极和铜柱工艺)中使用的厚抗蚀剂。

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Dynastrip™ 7700 多功能光刻胶去除剂Dynastrip 7700 是一款独特配方的光刻胶去除剂,专门设计用于去除晶片级包装 (WLP)(包括无铅焊料凸点电极、m 凸点电极和铜柱工艺)中使用的厚抗蚀剂(干法或液体)。

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适用于 Y 型汽缸的 GASGUARD® 大宗量 eV 温度控制系统适用于加热气体的最新一代智能制造技术 – 降低拥有成本、提供更高的流量、进一步提高安全性和可靠性。适用于加热 Y 型汽缸的独立式 GASGUARD 大宗量 eV 温度控制系统可以在两个阶段中提供:首先是 ECC 控制器,其次是新加热毯。可以进行修改,以便让系统容纳…

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GASGUARD® 主动控制阶段 1在零漂移的不同生产条件下为高蒸汽压力气体维持、重复和稳定压力。我们的 GasGuard 主动阶段 I 技术现在允许半导体晶圆厂在零漂移配送到工具的过程中,控制掺杂剂气体、吹扫气体和高压卤化碳(NF3、硅烷、N2O、CO2、CF4 等)等高蒸汽压力气体的压力,从而实现更高的精度。

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GASGUARD® LED 照明 —— 机柜和控制器内的固态 LED 照明GasGuard 气体柜和控制器内的 LED 照明可改善维护和故障排除过程中的用户体验。此选项仅适用于 GASGUARD AP11 型控制器。自动关闭的可选时间值为 31-99 分钟。标准设置是 99 分钟。LED 照明主要优势:提高检查可见性、气缸更换、维护和操作长使用寿命高能效独立 –…

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适用于 GASGUARD® AP11/Gen III 控制器的本地趋势软件“本地趋势”软件选项为操作员提供模拟历史记录。此软件选项适用于 Versum Materials 的任何 AP11/Gen III 控制器。此功能可以加装安装在控制器中的编程软件加密器,并进行固件升级。允许用户跟踪任何随着时间变化的模拟变量,如配送压力、气缸压力或温度。时间跟踪…

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S-1088 排放管冲洗站Versum Materials S-1088 型产品是一款独立全自动系统,设计用于清洁不锈钢排气管和其他带有用户可编程 DIW 和酸性混合物的晶圆厂部件。

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